Autores UNAM:
NASER QURESHI;

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Número de solicitud:
MX/A/2009/013547

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Fecha de presentacion:
11/12/2009

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Numero de concesion:
315791

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Fecha de concesión:
14/11/2013

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Resumen:

ESTA INVENCION SE REFIERE A UN SISTEMA DE DESPLAZAMIENTO LINEAL MECANICO PARA OBTENER RESOLUCION, ESTABILIDAD Y REPETIBILIDAD DEL ORDEN DE NANOMETROS. ESTO SE PUEDE APLICAR PARA REALIZAR BARRIDOS BIDIMENSIONALES Y TRIDIMENSIONALES.

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Entidades por adscripción en la UNAM:
Centro de Ciencias Aplicadas y Desarrollo Tecnológico;