Interfaz computadora- electroválvulas del sistema BUSTER para depósito de ALD-Pt Manual para su uso en el laboratorio de ALD del Departamento de Fisicoquímica de Nanomateriales del CNyN

Autores UNAM:
DAVID ALEJANDRO DOMINGUEZ VARGAS;
Entidad:
CENTRO DE NANOCIENCIAS Y NANOTECNOLOGÍA EN LA UNAM
Página Inicial:
Página final:
Fecha:
01/01/2013
Fuente:

Tipo de producto:
REPORTES TÉCNICOS