SISTEMA INTEGRAL DE INFORMACIÓN ACADÉMICA - PÚBLICO
Análisis del efecto del cloro sobre el crecimiento de nanoestructuras de silicio por PECVD a partir de SiH2Cl2 y NH3
Sinodales: BETSABEE MAREL MONROY PELAEZ;
Autores: Salazar Hernández, JeniferTipo de tesis: Tesis de MaestríaEntidad presentadora de examen profesional: Coordinación de Estudios de PosgradoEntidades por adscripción en la UNAM:
Instituto de Investigaciones en Materiales;