Análisis del efecto del cloro sobre el crecimiento de nanoestructuras de silicio por PECVD a partir de SiH2Cl2 y NH3

Sinodales:
BETSABEE MAREL MONROY PELAEZ;
Autores:
Salazar Hernández, Jenifer
Tipo de tesis:
Tesis de Maestría
Entidad presentadora de examen profesional:
Coordinación de Estudios de Posgrado
Entidades por adscripción en la UNAM:
Instituto de Investigaciones en Materiales;