Optimización del proceso de pulverización catódica reactiva por espectroscopía de emisión óptica del plasma : estudio de Si3N4

Sinodales:
ROBERTO SANGINES DE CASTRO;
Autores:
Soto Valle Angulo, Genaro
Tipo de tesis:
Tesis de Licenciatura
Entidad presentadora de examen profesional:
Centro de Nanociencias y Nanotecnología en la UNAM
Entidades por adscripción en la UNAM:
Centro de Nanociencias y Nanotecnología en la UNAM;